超聲波與兆聲波的比較德國(guó)sonosys超聲波清洗
liga 技術(shù)開(kāi)發(fā)過(guò)程中 40 khz 和 1 mhz 超聲波頻率的比較應(yīng)用兆聲波的一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)是能夠順利清潔極其脆弱的微結(jié)構(gòu)。左圖顯示顯微結(jié)構(gòu)已被40 khz超聲
波頻率的高空化能量破壞。被破壞的山脊厚度約為。4微米。在 1 mhz 超聲波頻率下，微觀結(jié)構(gòu)保
持不變（右圖）。
破壞了脆弱的微觀結(jié)構(gòu)約。200 µm 高，以 40 khz 頻率開(kāi)發(fā)。
未損壞的易碎微觀結(jié)構(gòu)，高 400 µm，以 1 mhz 頻率開(kāi)發(fā)。
高縱橫比微結(jié)構(gòu)開(kāi)發(fā)的工藝支持當(dāng)通過(guò) x 射線光刻生產(chǎn)微結(jié)構(gòu)時(shí)，致密和深層結(jié)構(gòu)的無(wú)殘留開(kāi)發(fā)尤為重要。在高縱橫比的微結(jié)構(gòu)（例如liga技術(shù)）的開(kāi)發(fā)過(guò)程中，由于產(chǎn)生的微流，顆粒被完的全沖走，開(kāi)發(fā)時(shí)
間縮短了7倍。對(duì)于脆弱的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)的深度可以增加 2 倍。
在沒(méi)有兆聲波支持的情況下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)
在兆聲波支持下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)