數(shù)顯勻膠臺 型號:mhy-26376
本機是用于半導體、集成電路及激光全息商標制造過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進行涂布光刻(感光)膠的設備。本機的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較高的穩(wěn)定性,結構合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強。本機可與光刻機配套使用。
主要技術參數(shù):
1、工作電壓:
380v/220v
2、整機功率:
1200w
3、勻膠時間控制范圍:
0.01-99.99秒;0.01-99.99分
4、轉(zhuǎn)速:
0-8000rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):
ф35-75mm
6、勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制):
1-4工位
7、外形尺寸:
長*寬*高 850*810*1600mm
8、凈重:
120kg
本機是用于半導體、集成電路及激光全息商標制造過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進行涂布光刻(感光)膠的設備。本機的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較高的穩(wěn)定性,結構合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強。本機可與光刻機配套使用。
主要技術參數(shù):
1、工作電壓:
380v/220v
2、整機功率:
1200w
3、勻膠時間控制范圍:
0.01-99.99秒;0.01-99.99分
4、轉(zhuǎn)速:
0-8000rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):
ф35-75mm
6、勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制):
1-4工位
7、外形尺寸:
長*寬*高 850*810*1600mm
8、凈重:
120kg