sf6氣體抽真空充氣裝置是按照dl/t662-1999《六氟化硫充氣及回收裝置》標準生產(chǎn)的，由sf6壓縮機、真空泵、真空系統(tǒng)有防回油裝置, 冷凝系統(tǒng)、儲液罐、凈化系統(tǒng)內置可再生干燥過濾器、塵埃過濾器、球型閥門、真空計以及電氣控制，壓力探測，溫度計及報警裝置的控制和儀表等輔助設施等組成。
sf6氣體抽真空充氣裝置適用于sf6電器，gis組合電器sf6氣體絕緣電器設備的制造廠使用運行科研等部門。
sf6氣體抽真空充氣裝置的工作流程：
1、sf6氣體的回收
當sf6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經(jīng)凈化過濾器，通過sf6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態(tài)也可以在一定溫度、壓力下以液態(tài)形式儲入sf6貯罐。（見圖1）
2、sf6開關抽真空
通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）
3、充氣
經(jīng)凈化和干燥的sf6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1、 借助sf6貯罐壓力使氣體流向sf6開關，直至達到預定的充氣壓力。（見圖4）
2、當sf6貯罐壓力與sf6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。（見圖3）