精密光學平臺廣泛用于精密儀器以及實驗研究行業(yè)中，隨著*的設備和工藝發(fā)展，使納米量級的測量成為可能。
例如：用顯微鏡對圖像進行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照相物鏡共同決定了相紙上每點的圖像，如果在曝光過程中光學系統(tǒng)的每一部分（照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學系統(tǒng)、成像光學系統(tǒng)和相紙平面）都精確地一同移動，不存在相對于位移，成像也會很清晰，如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動，則像就會模糊，在精密光學平臺干涉下測量、全息及運用相似的規(guī)律時，控制相對運動都是很重要的。
在一個理想的剛性體內(nèi)部（只在理論上存在），任何兩點的相對位置都是不變的。也就是說，在振動、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩(wěn)固地連接成一個理想的剛性體，不同元件之間沒有相對位移，系統(tǒng)的性能也會很穩(wěn)固。理想的剛性體是不存在的?，F(xiàn)實中的系統(tǒng)只能近似的認為是剛性的，因此，其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源，系統(tǒng)的重量，光學平臺的結(jié)構等等。